Der Schadensersatzanspruch der Insolvenzmasse auf Rückzahlung der vom (vorläufigen) Insolvenzverwalter vor Aufhebung des Vergütungsfestsetzungsbeschlusses entnommenen Vergütung ist ab dem Zeitpunkt der Entnahme zu verzinsen. Der Insolvenzverwalter ist nach der Rechtsprechung des Bundesgerichtshofs verpflichtet, die entnommene Vergütung an die Insolvenzmasse zurückzuzahlen, nachdem der Festsetzungsbeschluss aufgehoben wurde. Der Rückforderungsanspruch ist auch nicht
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